SLA5850SG1BC1B1A1 là một bộ điều khiển lưu lượng khí khối (MFC) kỹ thuật số hiệu suất cao từ Brooks Instrument, thuộc dòng SLA5800. Các MFC này nổi tiếng về độ chính xác, độ ổn định và độ tin cậy trong các ứng dụng kiểm soát lưu lượng khí đòi hỏi khắt khe.

Dòng SLA5800 là một tiêu chuẩn được chấp nhận rộng rãi cho việc kiểm soát lưu lượng khí chính xác. Model SLA5850SG1BC1B1A1 được thiết kế với phớt elastomer, phù hợp cho các quy trình sạch sẽ nơi độ chính xác cao và độ ổn định lâu dài là rất quan trọng. Đây là một MFC kỹ thuật số, cung cấp khả năng giao tiếp và chẩn đoán tiên tiến.

2. Đặc trưng nổi bật:

• Phớt Elastomer: Đảm bảo độ kín cao, phù hợp cho các ứng dụng yêu cầu độ sạch và ngăn ngừa rò rỉ.
• Độ Chính Xác và Độ Lặp Lại Cao: Cung cấp khả năng kiểm soát chính xác và tốc độ dòng chảy ổn định.
• Giao Tiếp Kỹ Thuật Số: Cung cấp các giao thức giao tiếp kỹ thuật số (có khả năng là RS-485) để tăng cường khả năng điều khiển, chẩn đoán và thu thập dữ liệu.
• Khả Năng Đo Lưu Lượng Rộng: Dòng SLA5800 hỗ trợ dải lưu lượng rộng; dải lưu lượng chính xác cho model này phụ thuộc vào cấu hình cụ thể.
• Thời Gian Phản Hồi Nhanh: Cung cấp khả năng kiểm soát dòng khí nhanh chóng và ổn định.
• Chẩn Đoán Tích Hợp: Tích hợp các chức năng chẩn đoán để theo dõi tình trạng và hiệu suất của bộ điều khiển.
• Khả Năng Đa Khí: Có thể được cấu hình cho nhiều loại khí khác nhau. Loại khí cụ thể cho model này được xác định tại thời điểm đặt hàng.
• Ngõ Vào/Ra Analog: Thường bao gồm các tín hiệu ngõ vào và ngõ ra analog (ví dụ: 0-5 VDC, 4-20 mA) để điều khiển và phản hồi.
• Thiết Kế Nhỏ Gọn: Cung cấp kích thước tương đối nhỏ gọn để dễ dàng tích hợp vào nhiều hệ thống khác nhau.

3. Thông số kỹ thuật cơ bản:

(Lưu ý: Các giá trị cụ thể có thể thay đổi tùy thuộc vào cấu hình chính xác của SLA5850SG1BC1B1A1. Tham khảo datasheet sản phẩm để có thông số kỹ thuật chính xác.)

• Loại Sản Phẩm: Bộ Điều Khiển Lưu Lượng Khí Khối (MFC)
• Dòng Sản Phẩm: SLA5800
• Loại Phớt: Phớt Elastomer
• Loại Khí: Được chỉ định tại thời điểm đặt hàng
• Dải Lưu Lượng (Toàn Thang Đo): Phụ thuộc vào cấu hình (ví dụ: 0-30 SLPM, 0-50 SLPM)
• Độ Chính Xác: Thường ±1.0% Toàn Thang Đo hoặc tốt hơn
• Độ Lặp Lại: Thường ±0.25% Giá Trị Đọc
• Thời Gian Phản Hồi: Thường trong vòng 3 giây để đạt ±2% Toàn Thang Đo
• Áp Suất Hoạt Động: Lên đến 1500 psi (100 bar) tùy thuộc vào model
• Nhiệt Độ Hoạt Động: Thường 10°C đến 50°C
• Ngõ Ra Analog: 0-5 VDC hoặc 4-20 mA
• Giao Tiếp Kỹ Thuật Số: RS-485 (có khả năng)
• Kết Nối Điện: Đầu nối D-type
• Kiểu Lắp Đặt: Inline

4. Ứng dụng:

Bộ điều khiển lưu lượng khí khối SLA5850SG1BC1B1A1 lý tưởng cho nhiều ứng dụng đòi hỏi kiểm soát lưu lượng khí chính xác và ổn định, bao gồm:

• Sản Xuất Chất Bán Dẫn: Kiểm soát lưu lượng khí trong các quy trình lắng đọng, khắc và các quy trình sản xuất bán dẫn khác.
• Công Nghệ Sinh Học: Cung cấp lưu lượng khí chính xác cho các lò phản ứng sinh học và quá trình lên men.
• Thiết Bị Phân Tích: Cung cấp lưu lượng khí chính xác cho sắc ký, quang phổ và các thiết bị phân tích khác.
• Nghiên Cứu Pin Nhiên Liệu: Kiểm soát lưu lượng khí phản ứng trong thử nghiệm và phát triển pin nhiên liệu.
• Phòng Thí Nghiệm và Nghiên Cứu: Kiểm soát lưu lượng khí đa mục đích trong môi trường nghiên cứu.
• Quy Trình Công Nghiệp: Bất kỳ ứng dụng nào đòi hỏi kiểm soát lưu lượng khí chính xác và lặp lại, nơi phớt elastomer phù hợp.

5. Bài viết khác